型号

HD-50D

HD-90D

SMU-180D

相机

2000万像素超清工业数字相机

镜头

双远心镜头

光源系统

远心平行底光+表面环光+同轴光+升降环光升降环光(0°/45°)

Z轴移动行程

45mm

55mm

100mm

载物台承重

15KG

视野

42×35mm

90×60mm

180×130mm

重复性精度

±1.5μm

±2μm

±5μm

测量精度

±3μm

±5μm

±8μm

测量软件

IVM-2.0

测量模式

可同时测量单个或多个样品

测量速度

1-3S/100尺寸

电源

AC220V/50Hz,200W

操作环境

温度: 22℃±3℃  湿度: 50～70%

Vibration: <0.002mm/s, <15Hz

重量

35KG

40KG

100KG

质保

12个月